Amerikaanse onderzoek in patentzaak ASML

WASHINGTON (AFN/RTR) - Toezichthouders in de VS zijn een onderzoek gestart naar de software van een aantal digitale camera's van Nikon, na klachten van chipmachinefabrikant ASML en zijn belangrijkste lenzenleverancier Carl Zeiss. Mogelijk is bij de vervaardiging van de apparaten inbreuk gemaakt op patenten.

Het onderzoek is een nieuw hoofdstuk in de strijd tussen ASML en zijn Japanse branchegenoot. ASML sleepte Nikon eerder dit jaar in Japan voor de rechter nadat Nikon daarvoor al juridische stappen aankondigde tegen ASML.

ASML claimt dat Nikon zonder te betalen technologie toepast in zijn producten waar het Nederlandse bedrijf octrooi op heeft. Nikon beschuldigt ASML en Zeiss juist van onrechtmatig gebruik van zogenoemde immersietechnologie. Daarbij wordt de lichtbundel waarmee schakelingen worden geëtst op plakjes halfgeleidermateriaal, nog scherper gesteld met behulp van een laagje vloeistof.