VELDHOVEN (AFN) - ASML sleept zijn Japanse branchegenoot Nikon voor de rechter omdat die inbreuk zou hebben gemaakt op meer dan tien patenten van de chipmachinefabrikant. Dat liet de onderneming vrijdag weten. Nikon kondigde eerder deze week juist juridische stappen aan tegen ASML.
Het Veldhovense technologiebedrijf heeft zijn tegenclaims neergelegd bij een rechter in Japan, en is van plan hetzelfde te doen in de Verenigde Staten. Het trekt samen op met zijn belangrijkste lenzenleverancier Carl Zeiss, die eveneens door Nikon voor de rechter is gedaagd.
Nikon beschuldigt ASML en Zeiss van onrechtmatig gebruik van zogenoemde immersietechnologie. Daarbij wordt de lichtbundel waarmee schakelingen worden geëtst op plakjes halfgeleidermateriaal, nog scherper gesteld met behulp van een laagje vloeistof.
Scala
ASML claimt nu op zijn beurt dat Nikon zonder te betalen technologie toepast in zijn producten waar het Nederlandse bedrijf octrooi op heeft. Het gaat om een breed scala aan producten, waaronder productiemachines voor chips en platte beeldschermen, maar ook digitale camera's.
,,Wij hebben geen andere keuze dan deze tegenclaims in te dienen'', zei topman Peter Wennink van ASML. Het bedrijf probeert volgens hem al jaren afspraken te maken met Nikon over het gebruik van elkaars gepatenteerde technologieën. Een wederzijdse licentieovereenkomst die daar eerder over werd gesloten, liep eind 2009 af.
De Japanners zijn sindsdien niet bereid geweest serieus te onderhandelen, zei Wennink. ,,Nu Nikon besloten heeft dit conflict voor de rechtbank te brengen, moeten ook wij onze patenten handhaven, en dat zullen we zo breed mogelijk doen'', aldus de topman.