Exclusief: China’s ‘Manhattanproject’ voor AI-chips om het Westen te evenaren

Door Fanny Potkin

SINGAPORE 17 dec - In een zwaarbeveiligd laboratorium in Shenzhen hebben Chinese wetenschappers gebouwd waar Washington jaren heeft geprobeerd een stokje voor te steken: een prototype van een machine die in staat is de meest geavanceerde halfgeleiderchips te produceren die kunstmatige intelligentie, smartphones en wapens aandrijven die centraal staan in de westerse militaire dominantie, zo vernam Reuters.

Begin 2025 voltooid en nu in testfase, vult het prototype bijna een volledige fabrieksvloer. Het is gebouwd door een team van voormalige ingenieurs van de Nederlandse halfgeleiderreus ASML die de extreem-ultraviolette lithografiemachines, of EUV’s, van het bedrijf hebben gereverse-engineerd, aldus twee personen met kennis van het project. 

EUV-machines staan centraal in een technologische Koude Oorlog. Ze gebruiken bundels extreem ultraviolet licht om circuits op siliciumwafers te etsen die duizenden keren dunner zijn dan een menselijke haar, momenteel een capaciteit die door het Westen wordt gemonopoliseerd. Hoe kleiner de circuits, hoe krachtiger de chips.

China’s machine is operationeel en genereert met succes extreem ultraviolet licht, maar heeft nog geen werkende chips geproduceerd, zeiden de personen. 

In april zei ASML-CEO Christophe Fouquet dat China "veel, heel veel jaren" nodig zou hebben om dergelijke technologie te ontwikkelen. Maar het bestaan van dit prototype, voor het eerst gemeld door Reuters, suggereert dat China jaren dichter bij halfgeleideronafhankelijkheid is dan analisten verwachtten.

Niettemin staat China nog voor grote technische uitdagingen, vooral bij het repliceren van de precieze optische systemen die door westerse leveranciers worden geproduceerd.

De beschikbaarheid van onderdelen van oudere ASML-machines op secundaire markten heeft China in staat gesteld een binnenlands prototype te bouwen, waarbij de overheid als doel heeft om tegen 2028 werkende chips op het prototype te produceren, aldus de twee personen. 

Maar degenen die dicht bij het project staan, zeggen dat een realistischer doel 2030 is, wat nog steeds jaren eerder is dan de tien jaar die analisten dachten dat China nodig zou hebben om het Westen te evenaren op chipgebied.

Chinese autoriteiten reageerden niet op verzoeken om commentaar.

De doorbraak markeert de bekroning van een zesjarig overheidsinitiatief om zelfvoorzienend te worden in halfgeleiders, een van de hoogste prioriteiten van president Xi Jinping. Hoewel China’s halfgeleidervoor doelen publiek zijn, is het EUV-project in Shenzhen in het geheim uitgevoerd, aldus de personen.  

Het project valt onder de halfgeleiderstrategie van het land, die volgens staatsmedia wordt aangestuurd door Xi Jinpings vertrouweling Ding Xuexiang, het hoofd van de Centrale Commissie voor Wetenschap en Technologie van de Communistische Partij.

De Chinese elektronicagigant Huawei speelt een sleutelrol bij het coördineren van een web van bedrijven en staats onderzoeksinstituten door het hele land, waar duizenden ingenieurs bij betrokken zijn, aldus de twee personen en een derde bron. 

De betrokkenen omschreven het als China’s versie van het Manhattanproject, de Amerikaanse oorlogsinspanning om de atoombom te ontwikkelen.

“Het doel is dat China uiteindelijk geavanceerde chips kan maken op machines die volledig in China zijn gemaakt,” zei een van de personen. "China wil dat de Verenigde Staten 100% uit zijn toeleveringsketens worden geweerd."

Huawei, de Chinese Staatsraad, de Chinese ambassade in Washington en het Chinese ministerie van Industrie en Informatietechnologie reageerden niet op verzoeken om commentaar.

Tot nu toe heeft slechts één bedrijf EUV-technologie onder de knie: ASML, met hoofdkantoor in Veldhoven. De machines van het bedrijf, die ongeveer 250 miljoen dollar kosten, zijn onmisbaar voor de productie van de meest geavanceerde chips die zijn ontworpen door bedrijven als Nvidia en AMD—en geproduceerd door chipmakers zoals TSMC, Intel en Samsung.

ASML bouwde zijn eerste werkende prototype van EUV-technologie in 2001 en vertelde Reuters dat het bijna twee decennia en miljarden euro’s aan R&D-uitgaven kostte voordat het in 2019 zijn eerste commercieel beschikbare chips produceerde.

“Het is logisch dat bedrijven onze technologie willen repliceren, maar dat is geen geringe opgave,” zei ASML in een verklaring aan Reuters. 

De EUV-systemen van ASML zijn momenteel beschikbaar voor Amerikaanse bondgenoten, waaronder Taiwan, Zuid-Korea en Japan.

Vanaf 2018 begon de Verenigde Staten druk uit te oefenen op Nederland om te voorkomen dat ASML EUV-systemen aan China zou verkopen. De beperkingen werden uitgebreid in 2022, toen de regering-Biden ingrijpende exportcontroles oplegde die bedoeld waren om China de toegang tot geavanceerde halfgeleidertechnologie te ontnemen. Er is nog nooit een EUV-systeem verkocht aan een klant in China, zei ASML tegen Reuters.

De controles richtten zich niet alleen op EUV-systemen, maar ook op oudere deep ultraviolet (DUV) lithografiemachines die minder geavanceerde chips produceren, zoals die van Huawei, met als doel China ten minste een generatie achter te houden in chipcapaciteiten.

Het Amerikaanse ministerie van Buitenlandse Zaken zei dat de regering-Trump de handhaving van exportcontroles op geavanceerde apparatuur voor halfgeleiderproductie heeft aangescherpt en samenwerkt met partners "om mazen te dichten naarmate technologie voortschrijdt.” 

Het Nederlandse ministerie van Defensie zei dat Nederland beleid ontwikkelt dat “kennisinstellingen” verplicht personeelsscreenings uit te voeren om toegang tot gevoelige technologie te voorkomen “door individuen met kwade bedoelingen of die risico lopen onder druk te worden gezet.”

Exportbeperkingen hebben China’s vooruitgang richting halfgeleiderzelfvoorziening jarenlang vertraagd en de productie van geavanceerde chips bij Huawei ingeperkt, zeiden de twee personen en een derde persoon. 

De bronnen spraken op voorwaarde van anonimiteit vanwege de vertrouwelijkheid van het project.

HET MANHATTANPROJECT VAN CHINA

Een ervaren Chinese ingenieur van ASML die voor het project was gerekruteerd, was verrast toen bleek dat zijn royale tekenbonus werd vergezeld door een identificatiekaart op een valse naam, aldus een van de personen, die bekend was met zijn werving. 

Eenmaal binnen herkende hij andere voormalige ASML-collega’s die ook onder aliassen werkten en kreeg hij de instructie om op het werk hun schuilnamen te gebruiken om de geheimhouding te bewaren, zei de persoon. Een andere persoon bevestigde onafhankelijk dat rekruten valse ID’s kregen om hun identiteit te verbergen voor andere werknemers binnen de beveiligde faciliteit.

De instructie was duidelijk, zeiden de twee personen: geclassificeerd onder nationale veiligheid mocht niemand buiten het complex weten wat ze bouwden—of dat ze er überhaupt waren. 

Het team omvat recent gepensioneerde, in China geboren voormalige ASML-ingenieurs en -wetenschappers—prime targets voor rekrutering omdat zij over gevoelige technische kennis beschikken maar na het verlaten van het bedrijf minder professionele beperkingen hebben, zeiden de personen.

Twee huidige ASML-medewerkers met de Chinese nationaliteit in Nederland vertelden Reuters dat ze sinds ten minste 2020 zijn benaderd door recruiters van Huawei. 

Huawei reageerde niet op verzoeken om commentaar.

Europese privacywetten beperken ASML’s vermogen om voormalige werknemers te volgen. Hoewel werknemers geheimhoudingsovereenkomsten tekenen, blijkt grensoverschrijdende handhaving moeilijk.

ASML won in 2019 een vonnis van 845 miljoen dollar tegen een voormalige Chinese ingenieur die werd beschuldigd van diefstal van bedrijfsgeheimen, maar de beklaagde vroeg faillissement aan en is volgens rechtbankdocumenten nog steeds actief in Peking met steun van de Chinese overheid.

ASML zei tegen Reuters dat het “bedrijfsgeheimen en vertrouwelijke informatie waakzaam beschermt”.

"Hoewel ASML niet kan bepalen of beperken waar voormalige werknemers werken, zijn alle werknemers gebonden aan de vertrouwelijkheidsclausules in hun contracten," aldus het bedrijf, dat “met succes juridische stappen heeft ondernomen naar aanleiding van diefstal van bedrijfsgeheimen.”

Reuters kon niet vaststellen of er juridische stappen zijn ondernomen tegen voormalige ASML-medewerkers die betrokken zijn bij China’s lithografieprogramma.

Het bedrijf zei dat het EUV-kennis beschermt door ervoor te zorgen dat alleen geselecteerde werknemers zelfs binnen het bedrijf toegang tot de informatie hebben.

De Nederlandse inlichtingendienst waarschuwde in een rapport van april dat China “uitgebreide spionageprogramma’s” heeft ingezet in pogingen om geavanceerde technologie en kennis uit westerse landen te verkrijgen, onder meer door “westerse wetenschappers en werknemers van hightechbedrijven” te rekruteren.

De ASML-veteranen maakten de doorbraak in Shenzhen mogelijk, zeiden de personen. Zonder hun intieme kennis van de technologie zou het reverse-engineeren van de machines vrijwel onmogelijk zijn geweest.

Hun rekrutering maakte deel uit van een agressieve campagne die China in 2019 lanceerde om halfgeleiderexperts in het buitenland aan te trekken, met tekenbonussen vanaf 3 tot 5 miljoen yuan (420.000 tot 700.000 dollar) en subsidies voor de aankoop van een woning, volgens een Reuters-analyse van overheidsdocumenten.  

Tot de rekruten behoorde Lin Nan, voormalig hoofd lichtbrontechnologie bij ASML, wiens team bij het Shanghai Institute of Optics van de Chinese Academie van Wetenschappen in 18 maanden acht patenten heeft aangevraagd op EUV-lichtbronnen, volgens patentaanvragen.

Het Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics reageerde niet op verzoeken om commentaar. Lin kon niet worden bereikt voor commentaar.

Twee extra personen die bekend zijn met China’s wervingsinspanningen zeiden dat sommige genaturaliseerde burgers van andere landen Chinese paspoorten kregen en dubbel staatsburgerschap mochten behouden. 

China verbiedt officieel dubbele nationaliteit en beantwoordde geen vragen over het uitgeven van paspoorten.

Chinese autoriteiten reageerden niet op verzoeken om commentaar. 

BINNEN CHINA’S EUV-FAB

ASML’s meest geavanceerde EUV-systemen zijn ongeveer zo groot als een schoolbus en wegen 180 ton. Na mislukte pogingen om die omvang te evenaren, werd het prototype in het Shenzhen-lab vele malen groter gemaakt om het vermogen te vergroten, aldus de twee personen. 

Het Chinese prototype is grof in vergelijking met de machines van ASML maar wel operationeel genoeg voor tests, zeiden de personen. 

China’s prototype blijft achter bij ASML’s machines, vooral omdat onderzoekers moeite hebben om optische systemen te verkrijgen zoals die van het Duitse Carl Zeiss AG, een van ASML’s belangrijkste leveranciers, zeiden de twee personen.

Zeiss weigerde commentaar te geven. 

De machines schieten 50.000 keer per seconde laserpulsen op gesmolten tin, waarmee plasma van 200.000 graden Celsius wordt opgewekt. Het licht wordt gefocusseerd met spiegels die maanden kosten om te produceren, aldus de website van Zeiss.

China’s belangrijkste onderzoeksinstituten hebben een sleutelrol gespeeld bij het ontwikkelen van binnenlandse alternatieven, aldus de twee personen. 

Het Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics van de Chinese Academie van Wetenschappen (CIOMP) boekte een doorbraak in het integreren van extreem-ultraviolet licht in het optische systeem van het prototype, waardoor het begin 2025 operationeel kon worden, zei een van de personen, al vereist de optica nog aanzienlijke verfijning.  

CIOMP reageerde niet op verzoeken om commentaar.

In een online wervingsoproep in maart op zijn website zei het instituut dat het “onbegrensde” salarissen bood aan PhD-onderzoekers in lithografie en onderzoeksbeurzen tot 4 miljoen yuan (560.000 dollar) plus 1 miljoen yuan (140.000 dollar) aan persoonlijke subsidies.

Jeff Koch, analist bij onderzoeksbureau SemiAnalysis en voormalig ASML-ingenieur, zei dat China “een betekenisvolle vooruitgang” zal hebben geboekt als de “lichtbron genoeg vermogen heeft, betrouwbaar is en niet te veel verontreiniging veroorzaakt.” 

"Hierover bestaat geen twijfel dat het technisch haalbaar is, het is alleen een kwestie van tijdlijn," zei hij. "China heeft het voordeel dat commerciële EUV nu bestaat, dus ze beginnen niet vanaf nul."

Om de benodigde onderdelen te krijgen, haalt China componenten uit oudere ASML-machines en betrekt het onderdelen van ASML-leveranciers via tweedehandsmarkten, zeiden de twee personen. 

Netwerken van tussenbedrijven worden soms gebruikt om de uiteindelijke koper te maskeren, zeiden de personen. 

Exportbeperkte componenten van Nikon en Canon uit Japan worden gebruikt voor het prototype, zei een van de personen en een extra bron.

Nikon weigerde commentaar. Canon zei niet op de hoogte te zijn van dergelijke berichten. De Japanse ambassade in Washington reageerde niet op een verzoek om commentaar.

Internationale banken veilen regelmatig oudere apparatuur voor halfgeleiderfabricage, zeiden de bronnen. Veilingen in China verkochten nog in oktober 2025 oudere lithografieapparatuur van ASML, volgens een overzicht van vermeldingen op Alibaba Auction, een platform van Alibaba.

Een team van ongeveer 100 recent afgestudeerden concentreert zich op het reverse-engineeren van componenten van zowel EUV- als DUV-lithografiemachines, aldus de personen. 

Het bureau van elke werknemer wordt gefilmd door een afzonderlijke camera om hun pogingen om onderdelen te demonteren en weer in elkaar te zetten te documenteren—werk dat de personen beschreven als essentieel voor China’s lithografie-inspanningen.

Medewerkers die een component met succes weer assembleren, ontvangen bonussen, zeiden de personen.

HUAWEI-WETENSCHAPPERS SLAPEN OP LOCATIE

Hoewel het EUV-project door de Chinese overheid wordt geleid, is Huawei bij elke stap van de keten betrokken—van chipontwerp en fabricageapparatuur tot productie en uiteindelijke integratie in producten zoals smartphones, aldus vier mensen die bekend zijn met Huawei’s activiteiten. 

CEO Ren Zhengfei geeft volgens een van de personen updates aan hooggeplaatste Chinese leiders over de voortgang. 

De VS plaatste Huawei in 2019 op een entiteitenlijst, waardoor Amerikaanse bedrijven geen zaken met hen mogen doen zonder vergunning.

Huawei heeft werknemers ingezet in kantoren, fabrieken en onderzoekscentra door het hele land voor de inspanning. Medewerkers die aan halfgeleiderteams zijn toegewezen, slapen vaak op locatie en mogen doordeweeks niet naar huis terugkeren, met beperkte telefoontoegang voor teams die aan gevoeligere taken werken, aldus de personen.

Binnen Huawei weten maar weinig werknemers de volledige reikwijdte van dit werk. "De teams worden van elkaar geïsoleerd gehouden om de vertrouwelijkheid van het project te beschermen," zei een van de personen. “Ze weten niet waaraan de andere teams werken.”

(Verslaggeving door Fanny Potkin in Singapore, extra verslaggeving door Alexandra Alper in Washington, redactie door Ken Li en Michael Learmonth)

Bron: Reuters. Dit artikel is automatisch vertaald. Bekijk het originele artikel.